半導(dǎo)體體積電阻率測試儀

ATI-1000S型高溫半導(dǎo)體體積電阻率測試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試，該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進(jìn)行設(shè)計(jì)開發(fā)，可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率，可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。半導(dǎo)體體積電阻率測試儀目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進(jìn)行測試，可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅（si）、鍺（ge）,化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦（InSb），三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl、GaAsP，固溶體半導(dǎo)體，如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。

技術(shù)參數(shù)：

溫度范圍：RT-1000℃

升溫斜率：0-10℃/min (典型值：3℃/min)

控溫精度：±0.5℃

電阻測量范圍：0.1mΩ~1MΩ

電阻率測量范圍：100nΩ..cm~100KΩ .cm

測量環(huán)境：惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛

測量方法：四線電阻法

測試通道：單通道

樣品尺寸：10mmx10mmX20mm或φ＜20mm ,d＜5mm

電極材料：上電極半圓型鉑金電極，下電極平板型鉑金電極

絕緣材料：99氧化鋁陶瓷

數(shù)據(jù)存儲格式：TXT文本格式

數(shù)據(jù)傳輸：USB

符合標(biāo)準(zhǔn)：ASTM

供電：220V±10%，50Hz

工作溫度：5℃ 至 + 40 ℃；

存儲溫度：–40 ℃ 至 +65 ℃

工作濕度：+40 ℃ 時，相對濕度高達(dá) 95%（無冷凝）

設(shè)備尺寸：400x450x580mm

重量：38kg

產(chǎn)品特點(diǎn)：

■ 高溫爐膛、測量夾具、測量軟件等集成于一體，讓操作變得更加簡單，測量精度則會更高；

■ 觸摸屏控制和顯示，同時支持外接鍵盤和鼠標(biāo)操作，滿足多樣化需求；

■ ATI電阻率測量軟件兼容世界主流儀表Keithley 2400，擴(kuò)展應(yīng)用更加方便；

■ 可以實(shí)現(xiàn)常溫、高溫、真空、氣氛條件下測量半導(dǎo)體材料的電學(xué)性能；

■ 專業(yè)的測量軟件，可以測量半導(dǎo)體材料的方塊電阻和電阻率；

■ 進(jìn)口纖維一體開模鑄造的高溫爐膛，高耐溫1100℃；

■ 內(nèi)膽采用進(jìn)口金屬材料，耐高溫、抗氧化，可實(shí)現(xiàn)常溫、高溫、真空、流動氣氛等多種試驗(yàn)環(huán)境下的電學(xué)測量；

■ 為了減小高溫下導(dǎo)線受電爐絲的交流信號干擾而建立了金屬屏蔽罩，有效減小外部信號的干擾和增加測試頻率帶寬；

■ 采用九點(diǎn)控溫法，以傳感器為中心點(diǎn)，其半徑20mm的圓環(huán)上均勻鋪設(shè)八個溫度采集點(diǎn)，九個溫度點(diǎn)范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃，此范圍為樣品測試的佳溫區(qū)；

■ 彈簧夾具設(shè)計(jì)，彈簧的可壓縮性既不損傷樣品又能實(shí)現(xiàn)樣品的良好接觸；

■ 上電極半球狀+下電極平板狀結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以精確定位測量被測樣品某一點(diǎn)；

■ 控溫和測溫采用同一個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實(shí)際溫度；

■ 采用九點(diǎn)控溫法，九個溫度點(diǎn)范圍內(nèi)采集到的溫度大溫差為1℃，此范圍為樣品測試的佳溫區(qū)；

■ 電極支撐和屏蔽采用進(jìn)口合金材質(zhì)，利用葉片設(shè)計(jì)可以很好解決因平臺帶來的熱弛豫影響；

■ 可以測量半導(dǎo)體材料的方塊電阻、電阻率，實(shí)現(xiàn)常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能；

■ 操作簡單，功能強(qiáng)大的測量軟件，可以通過輸入樣品的面積和厚度，軟件自動計(jì)算樣品的電阻率ρv；

■ 智能化控制，可自動調(diào)節(jié)施加在樣品的測試電壓，以防樣品擊穿；

■ 采用新的RAM嵌入式開發(fā)平臺，可以進(jìn)行在線升級、遠(yuǎn)程協(xié)助及故障診斷；

■ 測量軟件*設(shè)計(jì)；